Visā pusvadītāju rūpniecības ķēdē apstrāde un ražošana ir viena no vissvarīgākajām saitēm. Ar tik milzīgu tirgu pusvadītāju procesa iekārtas nodrošina ražošanas pamatu pusvadītāju liela mēroga ražošanai. Šajā rakstā galvenā uzmanība tiks pievērsta pusvadītāju ražošanas procesa galvenajām iekārtām.
1, viena kristāla krāsns
Iekārtas funkcija: izkausē pusvadītāju materiālus, velk monokristālu, turpmākai pusvadītāju ierīču ražošanai nodrošina viena kristāla pusvadītāju sagatavi.
Lielākie starptautiskie zīmoli: PVA TePla AG (Vācija), Ferrotec (Japāna), QUANTUM DESIGN (ASV), Gero (Vācija), KAYEX (ASV).
Lielākie vietējie zīmoli: Pekina Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' Huade, 48. institūts of China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Gāzes fāzes epitaksiālā krāsns
Iekārtas funkcija: nodrošināt īpašu procesa vidi gāzes fāzes epitaksiālajai augšanai, realizēt plānslāņa kristālu augšanu ar atbilstošu saikni ar monokristālu kristālu fāzi uz viena kristāla un veikt pamata sagatavošanos viena kristāla nogrimšanas funkcionālai realizācijai. Gāzes fāzes epitaksija ir īpašs ķīmisko tvaiku nogulsnēšanās process, kurā augšanas plānslāņa kristāliskā struktūra ir monokristāla substrāta turpinājums un atbilst pamatnes kristāla orientācijai.
Lielākie starptautiskie zīmoli: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Applied Materials.
Lielākie vietējie zīmoli: Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 48. institūts, Čingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Pekina Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Molekulāro staru epitaksijas sistēma
Iekārtas funkcijas: Molekulāro staru epitaksijas sistēma, nodrošinot procesa aprīkojumu, lai audzētu plēvi uz apakšējās virsmas atbilstoši konkrētajam; Molecular beam epitaxy (MBEA) ir metode viena kristāla plānu plēvju sagatavošanai. To izmanto, lai audzētu plānas plēves pa slāņiem pa pamatnes kristāla asi atbilstošos substrātos un piemērotos apstākļos.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Riber (Francija), Veeco (ASV), DCA Instruments (Somija), SVTAssociates (ASV), NBM (ASV), Omicron (Vācija), MBE-Komponenten (Vācija), Oxford Applied (UK) Research (OAR) ) uzņēmums.
Lielākie vietējie zīmoli: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. oksidācijas krāsns (VDF)
Iekārtas funkcija: pusvadītāju materiālu oksidācijas apstrādei nodrošiniet nepieciešamo oksidācijas atmosfēru, lai sasniegtu paredzēto pusvadītāju oksidācijas apstrādes procesa dizainu, ir neaizstājama saite pusvadītāju apstrādes procesā.
Lielākie starptautiskie zīmoli: UK Thermco Company, Vācija Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG uzņēmums.
Lielākie vietējie zīmoli: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group 48. institūts, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 45. institūts.
5. Zema spiediena ķīmiskā tvaika nogulsnēšanās sistēma (LPCVD)
Iekārtas funkcija: tvaiki, kas satur gāzveida vai šķidru reakcijas aģentu, kas veido plēves elementus, un citas reakcijai nepieciešamās gāzes tiek ievadītas LPCVD iekārtas reakcijas kamerā, un plēvi rada ķīmiska reakcija uz pamatnes virsmas .
Galvenie starptautiskie zīmoli: Hitachi International Electric Company,
Lielākie vietējie zīmoli: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 48. institūts, Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 45. institūts, Pekinas instrumentu rūpnīca, Šanhajas mašīnu rūpnīca.
6. Uzlabota plazmas ķīmiskā tvaika nogulsnēšanās sistēma (PECVD)
Iekārtas funkcija: izmantojiet izgaismojumu izgulsnēšanas kamerā, padariet to jonizējošu un veiciet ķīmisku reakciju uz pamatnes, lai nogulsnētu pusvadītāju plānas plēves materiālu.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Proto Flex (ASV), Tokki (Japāna), Shimadsu (Japāna), Lam Research (ASV), ASM International (Nīderlande).
Lielākie vietējie zīmoli: Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 45. institūts, Pekinas instrumentu rūpnīca, Šanhajas mašīnu rūpnīca.
7. Magnetrona izsmidzināšanas tabula (MSA)
Iekārtas funkcijas: izmantojot slēgtu magnētisko lauku, kas paralēli mērķa virsmai bipolārā izsmidzināšanā, un uz mērķa virsmas izveidoto taisnleņķa elektromagnētisko lauku, sekundārais elektrons ir saistīts ar konkrēto mērķa virsmas laukumu, lai sasniegtu augstu jonu blīvumu un augstu enerģijas jonizācija, un mērķa atomi vai molekulas tiek nogulsnētas uz pamatnes ar lielu izsmidzināšanas ātrumu, veidojot plēvi.
Lielākie starptautiskie zīmoli: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit uzņēmums, Balzers uzņēmums un Cemecon uzņēmums.
Lielākie vietējie zīmoli: Pekinas instrumentu rūpnīca, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Ķīna Elektronikas tehnoloģiju grupas 48. institūts, Kerui Equipment Co., LTD., Šanhajas mašīnu rūpnīca.
8. Ķīmiskā mehāniskā pulēšanas mašīna (CMP)
Iekārtas funkcija: mehāniski slīpējot un ķīmiski šķīstot šķidrumu&"; korozija &"; no kombinētā efekta, pulējama (pusvadītāju) pulēšana.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
Lielākie vietējie zīmoli: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, litogrāfijas mašīna
Ierīces funkcija: vienmērīgi pielīmējiet pusvadītāju substrāta (silīcija plāksnes) virsmu, pārnesiet maskas rakstu uz fotorezistoru un uz laiku&"; kopējiet &"; ierīci vai ķēdes struktūru pie silīcija plāksnes.
Lielākie starptautiskie zīmoli: ASML (Nīderlande), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Lielākie vietējie zīmoli: Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 48. institūts, Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 45. institūts, Šanhajas mašīnu rūpnīca, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reaktīvo jonu kodināšanas sistēma (RIE)
Iekārtas funkcijas: starp plākšņu elektrodiem tiek pielietots augstfrekvences spriegums, lai iegūtu simtiem mikronu biezu jonu slāni, un modelī tiek ievietots ātrgaitas jonu trieciena modelis, lai panāktu ķīmisku reakciju kodināšanu un fizisku ietekmi un panāktu pusvadītāju apstrādi un liešana.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Japāna Evatech Company, ASV uzņēmums NANOMASTER, Singapūra REC Company, Dienvidkorejas uzņēmums JuSung, Dienvidkoreja TES Company.
Lielākie vietējie zīmoli: Pekinas instrumentu rūpnīca, Pekinas Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas četrdesmit astotais institūts.
11. ICP plazmas kodināšanas sistēma
Iekārtas funkcijas: viens vai vairāki gāzes atomi vai molekulas, kas sajauktas reakcijas kamerā, ārējās enerģijas ietekmē (piemēram, radiofrekvence, mikroviļņu krāsns utt.), Veidojot plazmu, no vienas puses, plazmas aktīvo grupu un kodināmā virsmas materiāla ķīmiskā reakcija, kas rada gaistošus produktus; No otras puses, joni plazmā tiek virzīti un paātrināti slīpuma spiediena ietekmē, lai realizētu kodinātas virsmas virziena koroziju un paātrinātu koroziju.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Oxford Instruments (Lielbritānija), Torr (ASV), Gatan (ASV), Quorum (Lielbritānija), Leeman (ASV), Pelco (ASV).
Lielākie vietējie zīmoli: Pekinas instrumentu rūpnīca, Pekina Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Ķīnas Elektronisko tehnoloģiju grupas 48. institūts, Goder jon Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Mikroelektronikas institūts, Ķīnas Zinātņu akadēmija, Ziemeļu mikroelektronika , Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, mitrā kodināšanas un tīrīšanas mašīna
Iekārtas funkcija: mitrā kodināšana ir kodināšanas materiāls, kas iemērc kodināšanas šķīdumā korozijas tehnoloģijai. Tīrīšanas mērķis ir samazināt piesārņojumu, kas var ietekmēt ierīces darbību, radīt uzticamības problēmas un samazināt ražu, kas prasa rūpīgu tīrīšanu pirms katra nākamā procesa slāņa vai pirms nākamā slāņa.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Screen (Japāna), SEMES (Koreja), Tokyo Electron (Japāna), Lam Research (Amerika).
Lielākie vietējie zīmoli: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Jonu implantācijas iekārta (IBI)
Iekārtas funkcija: dopinga laukums pie pusvadītāja virsmas.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. un Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (iegādājās AMAT).
Lielākie vietējie zīmoli: Pekinas instrumentu rūpnīca, Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupas 48. institūts, Čendu Nanguangas rūpniecības Co., LTD., Šenjanas Fangji vieglās rūpniecības mašīnu Co., LTD., Šanhajas Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, zondes testa stends
Ierīces funkcija: caur zondes kontaktu ar pusvadītāju ierīces spilventiņu tiek veikts elektriskais tests, lai pārbaudītu, vai pusvadītāja veiktspējas indekss atbilst projektētās veiktspējas prasībām.
Galvenie starptautiskie zīmoli: Vācija Ingun uzņēmums, kvalitātes nodrošināšanas uzņēmums, uzņēmums MicroXact, uzņēmums Ecopia, uzņēmums Leeno.
Lielākie vietējie zīmoli: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Vafeļu retināšanas mašīna
Funkcija: samazinot vafeļu biezumu, pulējot.
Starptautiskie galvenie zīmoli: Japāna DISCO Company, Vācija G& N uzņēmums, Japāna OKAMOTO uzņēmums, Izraēlas Camtek uzņēmums.
Lielākie vietējie zīmoli: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Slīpēšanas Iekārtu Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Slīpmašīnas Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co., LTD.
16. Vafeļu zīmēšanas mašīna (DS)
Ierīces funkcija: Vafele, sagriezta mazos Die gabalos.
Lielākie starptautiskie zīmoli: Vācija OEG uzņēmums, Japāna DISCO Company.
Galvenie vietējie zīmoli: Ķīnas elektronikas tehnoloģiju grupa, Pekinas Kechuang, sākot avota fotoelektrisko tehnoloģiju sadarbību., LTD., Shenyang instrumentu tehnoloģiju institūts, ziemeļrietumu mašīnu sadarbība, LTD., (709 rūpnīca) ir ziemeļrietumu mašīnu rūpnīca, hui sheng electronic elektronisko mašīnu un iekārtu uzņēmums, Lanzhou: lāzers, augsto tehnoloģiju nozares co., LTD., Shenzhen ruby lāzera iekārtu co., LTD., Wu Hansan strādnieks, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Technology.
17. Wire Bonder
Ierīces funkcija: savienojiet spilventiņu uz pusvadītāju mikroshēmas ar spilventiņu uz tapas ar vadošu metāla stiepli (zelta stieple).
Lielākie starptautiskie zīmoli: American Ottey, vācu TPT, Austria FK, Malaizija UNISEM.
Lielākie vietējie zīmoli: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Malaizijas Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.